產(chǎn)品特點(diǎn)：靈敏度高，分辨率高，耐干法腐蝕，最小分辨率可達(dá)0.5μm
應(yīng)用于：Sun-110P是一款適合6寸及以上規(guī)模集成電路的I-line光刻膠